為滿足國內(nèi)實(shí)驗(yàn)室對(duì)小型離子氮化爐的需求,我所新近相繼研制出LDMC-5型脈沖電源輝光離子氮化爐和LD-5型直流電源離子氮化多用爐,爐體有效氮化空間均為Φ200×300,適宜于試樣的試驗(yàn)研究和單個(gè)小型工件的試驗(yàn)研究。其中,LD-5型直流電源離子氮化多用爐輸出電壓0-3000V可調(diào),除可進(jìn)行離子氮化工藝試驗(yàn)研究外,還可進(jìn)行離子化學(xué)氣相沉積(PCVD)等試驗(yàn)研究。
目前,包括上海大學(xué)在內(nèi)的幾家單位已訂購此類小型氮化爐用于試驗(yàn)研究工作。